【】化學(xué)機(jī)械研磨方法 Chemical mechanical polis..._

鄧武鋒-CN-2010[####]本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,用于研磨填充有金屬的溝槽結(jié)構(gòu);所述化學(xué)機(jī)械研磨方法包括在研磨臺(tái)上進(jìn)行主研磨和在研磨臺(tái)上研磨去除溝槽上方剩余的金屬的步驟...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體及半導(dǎo)體裝置的化學(xué)..._

安藤民智明,金野智久-2009[####]本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體,其pH為4～5,用于同時(shí)對(duì)由選自多晶硅膜、氮化硅膜及氧化硅膜中的2種以上形成的被研進(jìn)行研磨,其含有:0.1～4質(zhì)量%的(A)具有10n...[/####] 太原實(shí)驗(yàn)室研磨機(jī)-機(jī)械-六安新聞網(wǎng)

7天前-生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)化、現(xiàn)代化的機(jī)械公司。...石油化工、乳品、化妝品、農(nóng)藥、有機(jī)硅等眾多...砂磨機(jī)設(shè)計(jì)原理砂磨機(jī),采用偏心盤研磨結(jié)構(gòu),并按...

硅石研磨機(jī)械工作原理

硅石磨_鄭州義龍礦山機(jī)械有限公司-必途 b2b.cn 2 陶瓷、硅石、橡膠、金屬(配套動(dòng)力依據(jù)采用襯板材質(zhì)和研磨物料的不同會(huì)有所差異) 硅石磨的工作原理 電機(jī)通過(guò)減速...

硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究_

譚剛,吳嘉麗-《儀器儀表學(xué)報(bào)》-2005-被引量:13[####]液進(jìn)行比較后提出了參與機(jī)械研磨的有效粒子數(shù)才是機(jī)械拋光過(guò)程的重要因素,而不是...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學(xué)報(bào),2005,26(8...[/####] 硅片研磨和研磨液作用的分析 -

2016年2月1日-隨著半導(dǎo)體工業(yè) 50 nm。 硅襯底片的研磨是保證襯底...這些機(jī)械損傷若殘留在硅 要包括: 有機(jī)堿、表面活性...原理和改進(jìn)方向3 作用下微裂縫不但無(wú)法愈合...

軟金屬潤(rùn)滑納米體研磨制備方法研究-中國(guó)機(jī)械工程2007年09期-手機(jī)...

采用行星式球磨機(jī)和濕式研磨法,以鉛為對(duì)象探討了制備軟金屬納米粒子體的工藝方法...[文獻(xiàn)類型]:期刊 [文獻(xiàn)出處]:《中國(guó)機(jī)械工程2007年09期 》 文章...

硅片加工表面拋光_機(jī)械/儀表_工程科技_專業(yè)資料

評(píng)分:5/5102頁(yè)[/####]2015年4月7日-硅片拋光的意義硅加工中,多線切割、研磨等加工過(guò)程...2) 化學(xué)機(jī)械拋光的基本原理 ? 3) 化學(xué)機(jī)械拋光的...拋光液的純度——金屬含量(Cu,Al,Fe) ? 2)拋...

切割/研磨設(shè)備 生產(chǎn)商 - 硅棒/硅錠生產(chǎn)設(shè)備 | 企業(yè)名錄 | 易恩孚...

石家莊威鋒機(jī)械制造有限公司 中國(guó)大陸 硅棒切割設(shè)備 無(wú)錫開(kāi)源太陽(yáng)能設(shè)備科技有限公司 中國(guó)大陸 硅棒切割設(shè)備,硅棒研磨設(shè)備 無(wú)錫上機(jī)數(shù)控股份有限公司 中國(guó)大陸 硅棒...

工業(yè)硅研磨機(jī)械工作原理_相關(guān)論文(共69篇)_

被引:1超聲橢圓振動(dòng)復(fù)合化學(xué)機(jī)械研磨硅片運(yùn)動(dòng)軌跡仿真研究?組合機(jī)床與自動(dòng)...被引:7粉磨工藝及設(shè)備(職業(yè)技術(shù)教育國(guó)家規(guī)劃教材)武漢理工大出版社被引:27粉煤灰機(jī)械研磨中物理與機(jī)械力化學(xué)現(xiàn)象的研究《南京工業(yè)大學(xué)》查看更多相關(guān)論文>> 粉碎機(jī)械_水泥磨機(jī) 超微粉碎能達(dá)到幾目 工業(yè)硅研磨機(jī)械 -

水泥磨機(jī) 超微粉碎能達(dá)到幾目 工業(yè)硅研磨機(jī)械...重量 400(kg) 粉碎程度 超細(xì)磨機(jī) 原理 超聲波粉碎...

新聞:蘇州(磁力研磨機(jī)工作原理)有限公司歡迎您 - 蘇州電動(dòng)工具 - ...

19小時(shí)前-()機(jī)械有限公司CEOUweRondé博士、巨浪(太倉(cāng))...石墨烯的發(fā)現(xiàn)為人類開(kāi)啟了從“硅時(shí)代”邁向“碳...(磁力研磨機(jī)工作原理)有限公司歡迎您感興趣,請(qǐng)...

ULSI硅襯底化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)研究_

周建偉,劉玉嶺,張偉-《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》-2007[####]通過(guò)對(duì)傳統(tǒng)硅片研磨加工工藝過(guò)程中的問(wèn)題進(jìn)行深入研究和分析,總 結(jié)了影響硅片表面質(zhì)量的主要影響因素,提出了將化學(xué)機(jī)械平整化技術(shù)應(yīng)用到ULSI硅襯底研磨加工的新方法,...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨方法和裝置_

楊濤-CN[####]本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,包括:確定硅片上待研磨的材料以及各材料的研磨順序,根據(jù)確定結(jié)果選擇滾卷,所述滾卷上按研磨順序依次設(shè)置有用于研磨不同材料的研磨墊;...[/####] 機(jī)械研磨制備硅灰石-SiO2復(fù)合顆粒及其表征_

崔嵬,任天宇,陳婉婷-《非金屬礦》-2016-被引量:1[####]采用機(jī)械研磨法,通過(guò)白炭黑濕法研磨解聚和硅灰石-白炭黑共混研磨手段制備硅灰石-無(wú)定形SiO2復(fù)合顆粒,對(duì)復(fù)合過(guò)程各因素進(jìn)行了優(yōu)化,對(duì)硅灰石-SiO2復(fù)合顆粒的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了...[/####] 明礬石研磨機(jī)械工藝流程

破碎機(jī)械設(shè)備明礬石研磨機(jī)械工藝流程明礬石研磨機(jī)械工藝流程礦業(yè)工業(yè)旅游項(xiàng)目選址...磨煤機(jī)石子煤鈣粉生產(chǎn)工藝明礬石研磨機(jī)械工作原理價(jià)格。(Hc.com)供應(yīng)商上海...

機(jī)械設(shè)計(jì)制造工藝及加工技術(shù)研究

機(jī)械設(shè)計(jì)制造是工業(yè)部門中的支柱性產(chǎn)業(yè),對(duì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展速度...利用流動(dòng)的磷硅玻璃填平表面,之后在沉積的鈍化層與...3.1精密研磨技術(shù)。精密研磨技術(shù)主要通過(guò)精密研磨的工藝...

【工業(yè)硅設(shè)備價(jià)格,針狀硅灰石粉碎機(jī)械廠家】- 網(wǎng)

2017年7月18日-江蘇奇新金屬硅深加工機(jī)械設(shè)備有限公司發(fā)明設(shè)計(jì)的DCS金屬硅粉生產(chǎn)線研磨系統(tǒng)設(shè)備通過(guò)...工業(yè)硅粉碎機(jī)械工作原理新聞重工科技這些破碎的機(jī)械性能各...

化學(xué)機(jī)械研磨_手機(jī)互動(dòng)百科

研磨制程根據(jù)研磨對(duì)象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...

化學(xué)機(jī)械拋光的步驟|自動(dòng)拋光機(jī)

依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相...XPJ研磨拋光機(jī)、XPJ不銹鋼拋光機(jī)、XPJ去毛刺拋光機(jī)、...銀 銥 特殊/稀有貴金屬/半金屬 釕 銠 金 硅 鋨...

【硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機(jī)械工作原理】-網(wǎng)

2016年11月23日-金屬硅、電解猛、碲銻合金、炭化硅、金鋼砂、冶煉礦、鈣鎂礦、 煤炭、活性炭...上海昌磊機(jī)械成套設(shè)備有限公司為你提供的“硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機(jī)械...

【技術(shù)】機(jī)械研磨方法制備硅灰石-TiO2復(fù)合顏料工藝研究!_搜..._

2017年7月7日-存在的資源、環(huán)境與成本價(jià)格等問(wèn)題的有效措施,同時(shí)還有利于非金屬礦物資源...采用液相機(jī)械力研磨方式,通過(guò)硅灰石與TiO2濕法共混研磨手段實(shí)現(xiàn)TiO2顆粒...

機(jī)械式油霧收集器工作原理 -【廣州市綠益康環(huán)保科技有限公司】

2018年7月26日-機(jī)械式油霧收集器工作原理 吸附到油霧雜質(zhì)。油...鏡片研磨機(jī)、壓鑄機(jī)等)發(fā)電廠.鍛壓工廠.軸承廠...平輿AEPS硅質(zhì)聚合物聚苯板生產(chǎn)線設(shè)備尺寸可以定做...

硅石砂研磨機(jī)械工藝流程

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CMSD2000-新型負(fù)極材料硅碳復(fù)合材料研磨分散機(jī),電池負(fù)極材料分散...

2017年4月26日-新型負(fù)極材料硅碳復(fù)合材料研磨分散機(jī),電池負(fù)極材料分散機(jī)立式分體結(jié)構(gòu),精密的零部件配合運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),運(yùn)行噪音在73DB以下。同時(shí)采用德國(guó)博格曼雙端面機(jī)械...

化學(xué)機(jī)械研磨對(duì)硅片表面微粗糙度的影響 -

2016年5月20日-主要工作與創(chuàng)新 59 5.2 后續(xù)研究工作 60 65攻讀...機(jī)械研磨示意圖(SMIC 培訓(xùn)資料) 圖2-3氧化硅研磨...(ILD—Inter Level Dielectric)和各種金屬薄膜層...

工業(yè)硅粉碎機(jī)械工作原理

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