水平機械研磨酸性鍍銅工藝研究--《材料科學與工藝》2015年06期

2013年1月5日-電鍍 機械研磨 酸性鍍銅 耐蝕性 防滲碳性... 玻璃珠的運動對A3鋼表面產生機械研磨作用(MA),并采用掃描電鏡、顯微硬度測試儀、電化學工作站等方法對其...

水平震蕩機械研磨電鍍銅工藝研究_圖文_

2014年2月10日-水平震蕩機械研磨電鍍銅工藝研究 - 呂小莉等 水平震 蕩機械 研磨 電鍍銅 工藝研 究 水平震 蕩機 械研 磨 電鍍銅 工 藝研 究 呂小 莉, 馮長 杰, 鐘小...

明礬石研磨機械工藝流程

明礬石研磨機械工藝流程-礦山機械設備明礬石研磨機械工藝流程怎樣生產明礬制作工藝相關技術流程如何加工明礬技術方法制作提取全新正版明礬人造銅明礬化合物及其生產方法...

【圖】單晶銅制造工藝技術大全_繁華依舊

在銅化學機械研磨工藝中減少晶片被腐蝕的方法 46、一種銅、鎳合金化的孿晶誘導...銅基大塊非晶合金 71、可去除半導體晶圓表面銅氧化物及水氣的系統與工藝流程 72...

化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究_

彭名君-《復旦大學》-2009[####]銅作為新的互連材料被引入集成電路的制造之后,以及大馬士革工藝的采用,帶來了新的工藝挑戰。銅在化學機械研臨的銅腐蝕問題使得產品良率和可靠性都受到威脅。本文...[/####] 化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究_圖文_

評分:3.5/556頁[/####]2013年6月8日-化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究 - 目 錄 摘 要………1言………3酉………...

我有一個銅件,平面度要求極高、粗糙度小于0.02,請教合理的研磨...

9條回復-發帖時間:2013年3月12日2013年3月12日-我有一個銅件,平面度要求極高、粗糙度小于0.02,光鏡檢測需達到9條光帶以上,之前我嘗試過許多方法:先在鑄鐵研磨平臺上配以W2.5研磨膏進行研磨,然后再用...

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用_

徐穎-《集成電路應用》-2009[####]正在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯結構,分別應用電磁和光學信號于和階段的研磨終點控制。工藝如圖1所示。[/####] RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用 -

2011年1月8日-4856基礎知識HOWTOMAKEACHIPRTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用徐穎應用材料(中國)公司在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯結構,分...

表面機械研磨處理對Cu-Ti合金組織及性能的影響_

牛娜-《太原理工大學》-2012-被引量:8[####]近年來,具有獨特微觀結構和優異力學性能的納米結構材料成為人們研究的熱點。表面機械研磨處理(SMAT)方法不僅可以在材料表面制備出無污染、無缺陷及體致密的理想納米材...[/####] 【】銅表面化學機械研磨平坦化方法_

旋 朱,蔡孟峰-2008[####]公開了一種銅表面的化學機械研磨平坦化方法,包括:在所述銅表面沉積介質層的步驟和對表面具有所述介質層的銅表面進行研磨的步驟。本發明的銅表面的化學機械研磨平坦化方法...[/####] 銅合金襯套的手動珩磨加工 -

2014年11月4日-主要介紹了使用手動珩磨加工銅合金襯套內孔的工藝方法...工的目的。因此, 磨棒,而丏研磨加工的效率較低。...利用平行線命令,如 公法線長度 L 用于各類...

化學機械研磨工藝中銅腐蝕及研究 -

2015年11月23日-化學機械研磨工藝中銅腐蝕及研究上傳人:fyhm65 相關文檔 化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究() 八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善...

降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法

一種降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法,是使用于化學機械研磨機臺來進行晶片的全面平坦化制

表面機械研磨處理對純銅組織和力學性能的影響-手機知網

發現由于部分梯度晶粒結構純銅材料在拉伸過程中存在...通過在表面機械研磨處理的基礎上引入電鑄工藝,初步...期刊 | 化學鍍銅短碳纖維-銅-石墨復合材料的性能研究...

揭秘銅礦石加工生產工藝

2017年4月8日-作為高科產業中所需的核心材料之一,銅有著極高的...銅礦石加工工藝及相關機械在其中的作用 1.銅礦石加工...進行研磨粉碎了(球磨機可以將輸送進來銅礦石顆粒研磨...

【】化學機械研磨方法_

江志琴-2013[####]本發明公開了一種化學機械研磨方法,用于研磨溝槽上方的金屬,包括主研磨和研磨去除剩余金屬的步驟,當溝槽上方金屬厚度大于等于15千埃時,該方法包括:主研磨溝槽上方預定厚...[/####] 【】化學機械研磨方法和化學機械研磨裝置_

吉田英朗-2004-被引量:2[####]一種化學機械研磨方法及化學機械研磨裝置,在研磨形成在襯底(13)上的銅和阻礙金屬,形成嵌入銅布線的CMP工序中,使打磨壓力為29g/cm2,打磨研磨布(12),而使研磨布的表面粗糙...[/####] 機械研磨(沖擊)電鍍銅鍍層的制備及耐蝕性研究_

李曄-《東北石油大學》-2016[####]機械研磨(沖擊)電鍍是在電鍍時,能實時地對鍍件鍍層表面施加機械研磨(沖擊)作用的一種電鍍工藝。機械研磨(沖擊)電鍍的實現方式是機械研磨(沖擊)電鍍裝置帶動含有玻璃球...[/####] 降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法

一種降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法。此方法包含,利用研漿進行晶片研磨,再利用去離子水研磨及清洗晶片的表面,再將晶片升起,以去離子水由下向上的...

銅的固結磨料化學機械研拋工藝-手機知網

銅的固結磨料化學機械研拋工藝,銅,固結磨料研磨拋光墊,自修整性,堿性拋光液,表面粗糙度。銅因其延展性,磨削、研磨過程中極易粘附在工具表面,減小了容屑空間,是...

PCB加工之沉銅工藝流程詳解_港泉SMT

化學銅工藝是通過一系列必需的步驟而終完成化學銅...環氧紙基板:較酚醛紙板機械性能更好,NEMA級,常見如...的研磨劑如玻璃珠或氧化鋁研磨材料.在濕漿法過程中...

銅的固結磨料化學機械研拋工藝

銅的固結磨料化學機械研拋工藝 銅固結磨料研磨拋光墊自修整性堿性拋光液表面粗糙度材料去除速率銅因其延展性,磨削、研磨過程中極易粘附在工具表面,減小了容屑空間,...

銅件研磨設備_銅件研磨設備價格_優質銅件研磨設備批發/..._

為您找到307條銅件研磨設備產品的詳細參數,實時報價,價格行情,優質批發/供應等信息。您還可以找環保...

降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法

一種降低銅制程化學機械研磨的缺陷與研漿殘留的方法,是使用于化學機械研磨機臺來進行晶片的全面平坦化制

銅導線化學機械研磨之研究—機制,膠體研磨粒子漿料..._

劉靜茵,Jing In Liu,涂肇嘉-2000[####]隨著積體電路(IC)制作技術之成長,元件尺寸必須縮減以大幅提升效能。為了減少多層金屬導線所造成的RC延遲,其必須以低電阻金屬導線及低介電常數介電材料來建構多層金屬連線...[/####] 【】一種銅化學機械研磨方法及設備_

鄧武鋒-2012[####]本發明提供一種銅化學機械研磨方法及設備,其在現有技術的基礎上增加了研磨步驟,通過采用銅選擇比高的研磨液對介質層開口之上的銅殘留層進行研磨,可完全去除開口之上的銅...[/####] 表面機械研磨處理銅合金力學性能的研究_

孫樂樂-《昆明理工大學》-2016[####]梯度結構材料因其具備良好的機械性能而備受關注,本文主要以Cu-Al、Cu-Zn合金為研究對象,通過表面機械研磨處理(Surface mechanical attrition treatment, SMAT)工藝在...[/####] 【】化學機械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程_

洪偉倫,莊佳哲,鐘基偉-2005-被引量:9[####]化學機械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程洪偉倫莊佳哲鐘基偉邱文智陳盈和章勛明CNA * Jun 18, 2004 May 25, 2005 積體電路制造股份有限公司 ...[/####] 關于錐孔銅套研磨的工藝試驗_

胡克庭,羅廣鳴,徐弘-《機械制造》-1986[####]關于錐孔銅套研磨的工藝試驗 研磨劑光潔度外圓磨床工件表面研磨工具酚醛樹脂動...胡克庭羅廣鳴徐弘《機械制造》...[/####] 化學機械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程

化學機械研磨的流程與基底上銅層氧化物研磨制程莊佳哲洪偉倫章勛明邱文智鐘基偉陳盈和...

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用-《集成電路應用》20..._中國知網

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用,徐穎;-集成電路應用2009年第11期在線閱讀、文章下載。<正>在銅CMP工藝中,為了去除多余的銅金屬而形成嵌入式銅互聯結構,分別...