淺議石英晶振器件的激光刻蝕頻率微調研究.pdf
2018年5月10日-石英晶振器件的激光刻蝕頻率微調研究 姓名:邵凈羽 ....12 圖1.5日本昭和真空生產的熱陰極離子槍……….13...這種加工方法具有較為明 顯的優越性,可對...
用離子束對石英晶振晶片進行刻蝕分析頻率偏移_手機網易網
2018年3月8日-實驗設備:離子束刻蝕頻率微調機使用昭和真空生產的SFE-6430T。離子槍的加速鉬片到晶片表面的距離為25mm,氬氣流量為0.35SCCM。 首先,進行較大刻蝕速度...
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