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我國碳化硅器件制造關鍵裝備研發取得重大進展_資訊_儀器信息網

2018年5月7日-以碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體產業是全球戰略...被譽為帶動“新能源革命”的“綠色能源”器件。...同時,設備的銷售價格可控制在同類進口設備的2/3...